非接觸式顯微鏡

Union

日本Union DH2高精度非接觸深度測量顯微鏡采用光學和非接觸方法探測焦距的方法，測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測量時產生的。基于目標分光方法原理的精密聚焦指示器的應用，以簡單地把兩個目標標志部分重合起來進行高精度的測量..

■ 產品優勢：

◎ 高精度的圖像自動聚焦系統的測量結果和精確度是很可靠的，沒有人為的因素。

◎ 通過電腦控制，可以完成多點的自動連續測量，高級的資料處理軟體可以極大的提高測量時間。

功能：非接觸測量微細的撞擊、臺階等。

◎ 通過高精度的光學聚焦點檢測和精確的聚焦指示器完成高精確的測量

◎ 簡單的操作

◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到10mm

◎ 同時還可以完成測量點的表面觀察觀測頭：三目 Z軸測量范圍： 0.1μm 讀數，10mm 行程 Z軸測量精度： 3σ=1μm (40×) 光學鏡身：精確的自動聚焦單元物鏡： 5× - 100× 測量軟體： 4種模式資料處理軟體：顯示最大值，最小值，平均值，標準偏差值等

應用領域
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CT（可選項）

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