設(shè)備儀器
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掃描電鏡
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掃描電鏡
ZEISS EVO MA10
Zeiss EVO MA10 樣品室采用整塊材質(zhì)中間掏空制成,從而在同類產(chǎn)品中具有最好的束流穩(wěn)定性,受外界環(huán)境的干擾更小,保證高分辨率及獲得細節(jié)更加豐富的圖像。而日系廠商采用幾塊材質(zhì)拼接而成,受外界干擾較大,束流穩(wěn)定性較差,自然其圖像性能也大受影響。
EVO MA10 的束流范圍為0.5pA – 5uA,而其他廠商鎢燈絲掃描電鏡最束流大僅為2uA。
- 資料說明
■ 技術(shù)特點:
超大樣品室:
樣品室尺寸:310mm x 220mm
樣品臺移動范圍:X=80mm, Y=100mm, Z=35mm
全自動5軸優(yōu)中心馬達臺
X = 80 mm
Y = 100 mm
Z = 35 mm
T = -10°~ 90°傾斜角
R = 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的X射線幾何設(shè)計
出射角為35度時能譜的工作距離為8.5mm
放大倍率 < 7~1,000,000x
最大分辨率 1.9nm,2nm,3nm 在30kv電壓下,SE配備HD、 LaB6和W
標配VP模式(可達400Pa)
操作簡便
應(yīng)用領(lǐng)域
■
CT(可選項)
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